| 
             平台规格(长×宽)mm  | 
            
             平台精度等级  | 
        ||
| 
             1级  | 
            
             2级  | 
            
             3级  | 
        |
| 
             平面度公差(um)  | 
        |||
| 
             1000×750  | 
            
             18  | 
            
             36  | 
            
             90  | 
        
| 
             1000×1000  | 
            
             20  | 
            
             39  | 
            
             96  | 
        
| 
             1000×1200  | 
            
             20  | 
            
             40  | 
            
             100  | 
        
| 
             1000×1500  | 
            
             24  | 
            
             48  | 
            
             120  | 
        
| 
             1000×2000  | 
            
             26  | 
            
             52  | 
            
             130  | 
        
| 
             1500×2000  | 
            
             28  | 
            
             56  | 
            
             140  | 
        
| 
             1500×2500  | 
            
             32  | 
            
             64  | 
            
             152  | 
        
| 
             1500×3000  | 
            
             70  | 
            
             174  | 
        |
| 
             2000×3000  | 
            
             74  | 
            
             184  | 
        |
| 
             2000×4000  | 
            
             88  | 
            
             219  | 
        |